半導體製程技術 | 竹科管理局常見問答

在未加入雜質之前半導體的純度通常是非常重要，以Si.為例其純度可達每109...從晶棒到晶圓切片.➢邊緣圓滑化,研磨,濕式蝕刻製程和化學機械研磨製程(CMP).

��>���Ch��Y�vm���e���a�fjz����5��!��f��jЉ�F?:���8�<���)W�����DTQ�Oc��}p���� A���A�(F��p"DŪ����!�<�Р��8�Y���C�j4��-HF�Ƨ_����7�K� ��9w��-Gua��x����B�p��-�옣R��A�� �U��U%+�@ C� ��N�2q��/�0m�-�6&����W�q���Nj�R(�@u�X��<�ڝ�A��#ƪwVӔ�|kC�*~iʄ�a��Q�؊�:�B��u/=�����n/3mD��i��2�9<��l�t�9���և�ʳ�_߰B�#(1���_ȫ8oΣ�@�Mp��cȮ�Ų��E@yM�/Z��5��y�����V��sp� �q��/�Y��L�#Y��ǹ����cs�Co���4n��s������j���ϗ�l*���{�Y~|x���=��&�hߧ���/��Z�������� ��w;��[�>𼁧���Ե���m�P�}�y_S�<��:�A`��wph��&�Z���{����P=�(�Z�C��X���n����9<���p�s����m<���݉�~������q<������N�ߒ� ��k8� α�Y� th����`�~E��[�>�<"�x��Y�N�;����0�(9� M�mD�������O8�����(��}z��n������?}PY���3�[�>�|O�3NJ�7�}�y� �4@��mӴ��@ϸ�@4��/��mb��}�yO��p)M���~�͎g x̭�(ph�e��Fa��)�����Ǒ�e�8V�1�F�}���e���!=U��r�몶[�@������%7����-����g&N?`�C��G�Ht�~|,@�Ѣưm���@� zL ��5;F���:�N�E���z@a��������=��+���"�8��q?>A�mq�� �0�N�H��������js �B�s.z;*&��>njOK�0�ܒzρ6��a�0�Fa�...